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사용장비

평가항목

내용

TSI

Filter Face Velocity Test

Filter가 Maker에서 추천하는 공기유동속도에서 작동할 때, 클린룸 안에 위치한 모든 Filter,Filter Housing 그리고 지지 구조물에서 Leak가 발생되는지 검사한다.

3차원풍속계
발연기,실 

Airflow Parallelism Test
& Smoke Profile Test 

작업 공간 내에서의 기류의 평행도와 내부에서 생성되는 오염물질의 확산을 억제하는 성능을 증명하기 위한 것이다.

TSI

Temperature
& Humidity Test

설계 기준에 규정된 온도, 습도 제어정도 및 실내온도,
습도분포의 확인한다.

TSI

Room Differential Pressure Test

Clean Room System이 바깥의 모든 주위 오염영역보다 더 높은 압력을 유지하고 있는지의 여부 및 Clean Room내의 Class가 서로 다른 지역간에 설계에서 규정한 압력을 유지하고 있는지를 확인한다..

사용장비

평가항목

내용

Meeco
Tracer, Aquavolt+

Gas Moisture Concentrationest
(Dewpoint) Test

Clean Room 사용하는 Gas Line 의 수분함유량을 측정하여 Gas의 상태 및 배관 상태를 판단한다.

평가항목

- Clean Bench & Booth
- Fan Filter Unit
- Air Shower & Pass Box
- Clean Stocker & Lift



장 비 명

규격

측정범위

제작사

주용도

Moisture Analyzer

Tracer  

0~2,000 ppb

MEECO

Gas 수분 분석

Moisture Analyzer

Aquavolt        

0~1000ppb

MEECO

Gas 수분 분석

Moisture Analyzer

Aquavolt+       

0~20 ppm

MEECO

Gas 수분 분석

Moisture Analyzer

WaterBoy        

0~1,000 ppm , 0~5,000ppm

MEECO

Gas 수분 분석

Moisture Analyzer

M-i

0.5~1,000 ppm

MEECO

Gas 수분 분석

Moisture Analyzer

HALO3

 

TigerOptics

Gas 수분 분석

Moisture Analyzer

MTO

0~5 ppm

TigerOptics

Gas 수분 분석

Moisture Analyzer

MTO-LP

0~20ppm

TigerOptics

Gas 수분 분석

Moisture Analyzer

Laser Trace

0~5 ppm

TigerOptics

Gas 수분 분석

Moisture Analyzer

Laser Trace

0~2.5 ppm

TigerOptics

O2 분석 

Air Particle Counter

PC-3106P

"Channel : 0.3/0.5/1.0/5.0/10.25μm

Range : 0.3 ~ 25 μm , Flow Rate : 0.1 CFM"

HCT

 

청정도 측정,
Filter Leak Test

Air Particle Counter

9310

"Channel : 03./0.5/1.0/3.0/5.0/10.0μm

Range : 0.3 ~ 25 μm , Flow Rate : 0.1 CFM"

TSI

 

청정도 측정,
Filter Leak Test

Air Particle Counter

9110

"Channel : 0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0μm

Range : 0.1 ~ 10 μm , Flow Rate : 0.1 CFM"

TSI

 

청정도 측정,
Filter Leak Test

Air Particle sensor

7301

"Channel : 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10.0 μm

Range : 0.3 ~ 25 μm , Flow Rate : 0.1 CFM"

Particle Plus

 

청정도 측정,
Filter Leak Test

Air Particle controller

8306 HandHeld   

"Channel : 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10.0 μm variable binning

Range : 0.3 ~ 25 μm , Flow Rate : 0.1 CFM"

Particle Plus

청정도 측정,
Filter Leak Test

Air Particle Controller

HPC

1.0 Cfm

LWS

Gas Particle 측정

Particle Cunter

APMON

Size : 20μm ~1,000μm
Sample Times 05 or 10 miniutes

APMON

낙진 Particle 측정

Smoke Profile Tester

AS-1

 

KITAKAWA

기류분석

3-Dimension Anemometer

WA-590

0~10 m/sec

KAIJO

풍속,기류 분석

Air Flow & Temp.
Monitor

ATM-24

0.15~0.75 m/sec, -5~70 ℃DB

CA

풍속,온도 분석

Air Velocity Meter

9555

0~5 m/sec, 5~60 ℃DB, 0~95%RH, 12.7~38.1mmAq

TSI

풍속,온도 분석